电容式微机械加速度传感器是一种将加速度转换成差分电容、通过检测差分电容的变化来检测加速度大小的一类高精度的惯性传感器。利用电桥电路实现C—V变换，设计了一种电容式微机械加速度计。本文构建电容式加速度传感器及外围电路的数学模型，进行了各种传感器的比较，而且介绍了一些关于电容式微传感器加工制造方面的知识。

结论

电容式加速度传感器是通过可动质量块感应加速度，利用平行板电容将质量块的相对位移转换为电容的变化，再通过检测电路将电容的微小变化转换为与其成正比的电压的变化。电容式加速度传感器应用广泛，现已经在医疗器械，汽车制动，汽车刹车气囊，报警系统等方面得到应用，给我们社会生产生活提供便利。

论文开始比较了几种加速度计的优缺点，介绍了电容式加速度传感器的发展和MEMS技术及加工工艺。本文设计的电容式加速度传感器以悬臂梁末端质量快作为差分电容的活动极板，以耐热玻璃上镀金属铝作为固定电极。测量电路是电桥电路来实现的。稳定性方面主要考虑寄生电容和温度影响。性能改进方面主要提及结构改进和电路改进，其中列举了三种结构设计和一种电路设计。

本设计具有结构简单，输出稳定，温度漂移小，测量误差小，输出电量与振动加速度的关系式简单方便易于计算等优点。本文所设计传感器灵敏度S为758.7mv/g，量程为65.8g，频率范围宽约为0-12.43KHz，线性度小于1%。