本课题研究的内容

本课题研究的对象为隧道和电容复合加速度计，其内容涉及到微米纳米技术，微机电系统技术，微加速度计等.隧道和电容复合加速度计由质量块，双端固定梁，检测电路和反馈控制电路组成，隧尖在质量块上，加速度计开始工作时，反馈控制电路将质量块下拉，使隧尖与极板的距离达到检测要求，当输入微弱加速度时，质量块敏感到加速度，由于惯性力导致隧尖与电极间发生相对运动而距离改变，隧道电流发生变化，隧道电流经过转换成电压被放大，输出加速度值，同时反馈控制电路将产生反馈电压，抑制质量块运动保证隧道间的距离；当输入加速度过大时反馈控制电路释放质量块，加速度计转入电容检测，输入的加速度导致检测电容上下极板间距发生变化，导致电容值发生变化，从而达到检测目的。主要内容是加速度计的结构设计和尺寸数据的计算和后期的优化。

预计设计达到量程0—1500g

本文的主要研究内容

根据加速度计的结构框架，决定采取以下研究方案：

隧道和电容复合加速度计由质量块，双端固定梁，检测电路和反馈控制电路组成，隧尖在质量块上，加速度计开始工作时，反馈控制电路将质量块下拉，使隧尖与极板的距离达到检测要求，当输入微弱加速度时，质量块敏感到加速度，由于惯性力导致隧尖与电极间发生相对运动而距离改变，隧道电流发生变化，隧道电流经过转换成电压被放大，输出加速度值，同时反馈控制电路将产生反馈电压，抑制质量块运动保证隧道间的距离；当输入加速度过大时反馈控制电路释放质量块，加速度计转入电容检测，输入的加速度导致检测电容上下极板间距发生变化，导致电容值发生变化，从而达到检测目的[10]。

本文研究的重点为：加速度计的结构设计，优化。

本次毕业设计所研究的隧道和电容复合加速度计，是基于隧道电流原理和电容器原理制作而成，理论上集合了电容式加速度计和隧道式加速度计的优点，能够实现高精度，宽量程，高灵敏度，低检测阈值这些优点。但是本设计仍处于实验研究阶段，与其实际应用还有一段距离。本文所做的主要工作是提出加速度计的设计思路，设计与计算加速度计的结构尺寸。本次毕设基本完成了题目要求和预计目的。